金屬管芯截取的試樣金相分析用圖像顯微鏡
被截取的試樣分為兩類,類包括不同裝配階段的器件。按其復雜的
程度它們可從沉積著某種單一金屬的金屬化層(例如,在硅上沉積鋁)
的半導體管芯起,到用焊錫、共晶合金或有機粘結利附著在管座上并連
接上各種規格的細導線(直徑往往小于1 密耳)
的金屬化管芯為止。另一類是半導體本身,可以在加上它的全部金
屬化和電解質附加層之前,或者是在附加層被除去之后。
顯然,第一類將需要某些預防措施,因為軟的金屬容易被弄臟,并
且截取過程中可能使無支撐的絲斷裂,而第二類無需這種預防措施。為
了放大和隨后的腐蝕和(或)染色,第二類更加經常需要小角度傾斜研
磨,而且一般是很難用手拿著處理的。尤其是那些有金屬化層的試樣幾
乎總是要鑲裝在支撐塑料中,而那些無金屬化層的通常不需要如此。隨
后的厚度測定常常是在后者上面進行的,
斜截(磨角)拋光斜截(磨角)技術有若干變種,
固定器將作為一種基本工具。固定器的大小可以改變以適應不同尺
寸的試樣。固定器的外環由黃銅或軟鐵制成,這兩種金屬中的任何一種
在玻璃磨盤表面滑動時都具有很小的阻力。采用圓形外環進一步保證了
平滑的滑動。兩種金屬中黃銅較好,因為它不會生銹。如采用鐵,