應用于測量機械零件的形狀的高精度光學顯微鏡

在機械零件的形狀中，作為基礎的是直線（平而）和圓（圓柱）。

    其中，從機械加工方面看來，一般認為外回切削容易加工。

    因此，在機械零件的形獲中，較常用的是圓往形。

    所以，過去是用二個頂尖將圓棒支起來，在它的圓周上放置千分表
的測量頭，一邊旋轉圓柱同時觀察測量頭的振擺，求出圓柱某一斷面上
正圓的偏差，也就是開始采用所謂求取正圓度等的測量方法。

    但是，在求取高精度加工過的圓柱的正圓度時，這就需要高精度的
正圓度測量儀了。

    要確定以理想的幾何學的正圓（實際上是比測定精度還要高的精度
的圓形）作為基準形狀。因為是基準形狀，要采用進行圓運動的點的軌
跡。因此，在正圓度測量顯微鏡的設計中，以非常高的精度設計回轉的旋轉
裝置是較重要的事情。

    其次，用這個旋轉裝置描繪的基準的圓形和檢測與被測表面的形狀
的偏差的方法，

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