精密測定工具顯微鏡-應用于測量零件的尺寸
由于室溫變化而使各部分的溫度分布情況發生變化，因而產
生變形，精度自然要起變化。實際上，如果知道了不同的室溫對
測定值變化的影響情況，借助于修正測定值，就能夠以接近的標
準精度使用工具顯微鏡。假設被測零件與工具顯微鏡的主要基礎
部分是相同的線膨脹系數的材料，熱容量也相同，即使室溫發生
變化，在兩者中間因為沒有熱的時間滯后，所以測量精度不會有
太大的變化�？紤]到這一點，在實際使用時產生的有關溫度方面
的一個大問題，乃是與測定值有直接關系的那些部分與被測零件
之間產生的熱容盤的差，或者也可以說是隨時間變化的兩者的時
間滯后的差值問題。但是，這要在被測零件的尺寸沒有太大變化
的情況下才成立。
如上所述，由于用三個支腳設置工具顯微鏡，在這種情況下，
有水平面方向(橫向)的力作用于支腳上，此時產生的變形，顯
然是使運動部分精度下降的原因，而且，加上主體的結構情況，
再加上述原因就會使測量誤差相當大。但在JPC情況下，如前
面所闡述的那樣;通過在主體底座上增設加強筋，就能夠完全防
止產生測量誤差。
眾所周知，關于精密測定器測量精度的主要問題，就是熱的
問題。如果精密測定器做成非常簡單的形狀，就能夠從理論上
求得由于測定器溫度分布而造成的變形，由于實際的精密測定器，
一般都是復雜的結構，所以，從理論上處理熱的問題就有困難。
對工具顯微鏡來說也是如此。
