精密測定器結構設計原理-不同溫度下的測量精度

    關于精密測定器結構設計問題，除有關結構部分的組裝、配
置問題外，還有對測量精度有影響的變形問題。這種變形是由自
重，外力及溫度分布的變化而產生的。

    關于工具顯微鏡的結構設計，已經講了各結構部分的選定及
其組裝，而且，更需要的是運動精度，為了消除十字運動工作臺
的固定臺的變化，從理論上探討了支點位置。因此，下面為了消
除由成為變形原因的自重而產生的工具顯微鏡安裝點的偏移和溫
度分布的變化，并對在各種不同情況下影響精度的問題加以探討。

    另外，綜上所述，當室溫以一小時0.8℃的速度變化時，從
室溫開始變化時，至少要過了二個小時，再使用JPC，這一點
是很重要的。一般說來，使用工具顯微鏡時，室溫變化比一小時
0.8℃速度小，如果待室溫穩定后約過了二小時再使用，可以認
為由于溫度變化引起的測量誤差，它的數值兒乎小到不成問題。

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