測量顯微鏡應用阿貝原理設計-零件測量儀器

運動部分

    移動被測零件的十字運動工作臺的移動范圍，左右為150毫
米，前后為50毫米，對這種運動的導向機構采用的(x一y)方向
復合運動的導向機構。

另外，十字運動工作臺上設置被測零件的定位裝旦和為測量角度
而用的旋轉臺。

對這種旋轉運動的機構，闡述的Y方向旋轉運動導向機構，以提高
舉動的精度。其次，為了能夠測量高度大的被測零件，

使比較顯微鏡較之過去(100^-150毫米)上下方向移動范圍要大些
(170毫米).此時，在高出工作臺的導軌表面的較高平面內進行測量，

因為由于不能滿足阿貝原理而產生誤差，這就需要比過去更加提高
導軌表面的精度。因之，以工作臺臺面作為基準位置，
此位置的尺寸測量精度應設計在±2微米以內。

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