工具顯微鏡的測量精度大致在3微米左右-測量光學儀器

較近工具顯微鏡的性能，在以下幾點有所改進，或有明顯的改進趨勢。

(1)測量精度的提高:

探討長度的測量精度，從過去的基準精度一般因為滿足不了阿貝原理，
精度因被測表面高度而有變化，所以普通以工作臺載物臺表面的精度
作為基準，把它叫作基準精度)。

5微米大致提高到3微米，測量的較小刻度也按照精度從過去的10微米降
到5微米左右。

(2)測量范圍的擴大:
過去工具顯微鏡十字運動工作臺的移動量，一般是:大型顯微鏡左右移
動量為150毫米，前后移動量為50毫米，小型的移動量，一般較大的左
右移動量為75毫米，前后為25毫米左右。

它的移動范圍已被擴大，測量的尺寸范圍也已擴大。

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