微光學的范圍有哪些-微型光電子機械測量顯微鏡

    作為一門新興技術，微光學涉及的范圍并不亞于光子學，它是
光通訊與微電子學結合的產物，它的應用領域也不僅包括人眼可

接受的光譜范圍，同時也包括紫外和紅外光等范圍。

    微光學涉及的基本材料多為二氧化硅、玻璃、半導體、硅和鏗
化妮以及一些新型有機材料。它所涉及的器件包括在二氧化硅、玻
璃、銼化妮或硅上通過集成光路形成的微光波導，光電二極管
DEL和激光二極管DL等微光源，光纖和微透鏡等微元件。

    在微機械研究中，微光學現在已成為與微電子、微機械密不可
分的重要部分，尤其在汽車、飛機和機器人等工業領域具有潛在的
應用前景。目前微型光電子機械系統MOEMS已經成為微機械的
重要發展方向之一。

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