應用表面輪廓儀很容易測量陡峭的斜率表面-測量顯微鏡

    測量這類表面的問題之一是表面的曲率變化和相當陡峭的斜率，所以，
光學輪廓儀必須有相當大的測量范圍，而表面輪廓儀很容易測量這類表面。不同
儀器的橫向(x)掃描范圍可以達到200mm，利用較新規格PG 1240儀器

   z方向的掃描范圍是12. 5mm，x方向的抽樣率是0.125 -1.0μm

(取決于掃描長度)，不準確度是0.35m+0. 03X掃描長度，在分辨率0.8nm時的高度
可重要性好于 0. 04μm，可以測量的較大斜率范圍在士35°。與表面輪廓測量儀
一樣，

若使用其他類型儀器，對系統進行正確標定是關鍵。

由于是一種接觸式輪娜測量儀器，所以，利用該技術可以測量模芯和模壓光學
元件兩種零件。

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