測量表面輪廓的常用方法是機械接觸式儀-測量顯微鏡
測量表面輪廓的通常方法是機械接觸式儀器。廣泛使用和較熟悉的儀器是上海光學儀器一廠生產的表面輪廓儀。
在工業界就成為一種表面輪廓標準。表而輪廓儀是一種設計有非常細探針的接觸式傳感器,該探針與待測表面接觸.沿著一條線測員出表面輪廓,使探針掃描過整個待測表面就完成了測量。
4. 10給出了利用光學計量很難測量的非球面的例子,這類表面在較近設計的手機相機的照相模塊中相當普通。
表面輪廓測量儀系列中一種新的設備是PG1 BLU.該儀器是為測量藍光及手機相機中極高數值孔徑透鏡而專門研發,與PGI 1240間的區別在于:儀器相對于待測零件是運動的,
因此,實際探頭可以很好地位于其測量范圍和梢度范舊以內,而復雜軟件組合處理探頭數據和連續表面(非球面)的機械掃描數據.
另外,精密的機械運動與高精度探頭相組合,局部給出所需要的分辨率。
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