顯微鏡橫向分辨率與高度分辨率組合-用于測量表面粗糙度
顯微干涉儀
在測量設備范疇，還需要介紹一種高度復雜的裝置：
集成在顯微鏡中的顯微干涉儀〔大部分屬于米洛（Mireau）類型〕。這些裝置中。
顯微鏡的橫向分辨率與干涉儀的高度分辨率相組合。顯微干涉儀特別
適合淵量如集成光學零件中的微小細節及小型光學零件的表面形狀。
還可以測址表面的粗糙度。
較新研制的一代產品裝備有復雜的掃描臺。利用白光照明和：方
向的機械掃描，
可以處理很大的高度差。在評估軟件中。數據采集到一個共用高
度表中，
除了測量表面粗糙度外，還可以測量小的非球而透鏡。由于該干
涉儀采用拼縫技術，
所以，有可能（同時）測量10個較強非球面表面，其原因在于通
過改變每個拼縫部分的聚焦，得到干涉圖不同區域的較佳抽樣，
所以，干涉圖抽樣可以在垂直方向采用更多像素。作為例子，Zygo
New View7000系列的橫向視場是0.05-21. 9mm. 橫向分辨率是0. 36~9.
5 μm （取決于所用的物鏡、變焦透鏡和相機）高度分辨率可以小至
0.lnm.垂直掃描適合不同的掃描范圍。
利用接觸式儀器也可以測量表面形狀和紋理，這是多年來標準的
粗糙度測量方式。
