微納幾何量指微納器件結構的幾何尺寸-金相顯微鏡應用

    微納幾何量是指微納器件結構的幾何尺寸，如微梁結構的長、寬、厚度，
微結構臺階的高度等特征幾何尺寸。微納幾何量測試就是針對微納器件的
幾何尺寸和幾何形貌的精密測試。

常見的微納幾何量測試技術主要有顯微視覺測試技術、接觸式三維形貌
測試技術、非接觸式三維形貌測試技術、微納三坐標測試技術以及薄膜
厚度測試技術等。

    圖像微納結構完整性檢測與分析主窗口和檢測結果。通過這種
方法可以實現微納幾何圖形的完整性檢測與分析，從而實現微納制
造過程中加工工藝與器件結構的在線快速檢查。

微納平面動態特性測較面板

電容式MEMS加速度計進行平面振動測量，驅動信號為電壓幅度1.5V，偏置電壓
1V的正弦波，經20倍增益的高壓運算放大器放大后加載到諧振器上(實際驅動電
壓峰峰值為30V，偏置電壓為20V),頻率掃描的起始頻率為0Hz，截至頻率為
200Hz，頻率掃描間隔為1 Hz，采用運動模糊圖像檢側技術，結合頻率掃描方法，
得到不同驅動頻率下MEMS加速度計平面振動的幅頻特性曲線。

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