研究用的金相顯微鏡所采用的分辨率大約是0.2μm

顯微鏡需要按照以下五個基本判據進行比較:

        1分辨率
        3工作距離
        3景深
        4對樣品的限制
        5放大倍數

    列出放大倍數是因為通常它說明利用掃描電子顯微鏡的原因。
品制備要求或不能滿足要求所造成的后果也很重要。

    分辨率研究用的金相顯微鏡所采用的分辨率大約是0. 2μm，
而良好的透射電子顯微鏡則應能分辨0.002μm.工作在例行實驗室
環境下的典型掃描電子顯微鏡能在典型樣品上分辨大約0.02μm.

    景深

此參數定義為輪廓聚焦清晰的那部分樣品表面。通常，景深定義為處在
±10%精確聚焦面以內.光學顯微鏡的景深將選擇1個單位作為標準，

以此為基準，掃描電子顯微鏡具有200-300個單個的可用景深，透射電子
顯微鏡沒有景深，因為電子束要通過樣品。