顯微機械加工樣品檢測顯微鏡-微加工制造

顯微制造與微型電鑄

    顯微制造或者說顯微機械加工（micromachining）是從半導體器
件生產到集成電路制造一直在采用的高新技術。在微電子技術時代，

    顯微制造已經是不可或缺的現代加工技術。但是，我們以往所知
道的顯微制造，較多的還是顯微光刻和顯微蝕刻，而很少聽說微型電
鑄。但是，在微型機器入等微型器件的研制進入實用化以后，微加工
技術中的微型電鑄很快成為一個重要的加工方法。這種方法實際還是
在微蝕方法的基礎上發展起來的微加工方法

    使電鑄成型體裸露出來，從基板上取下，即為電鑄成品。

    這種微加工技術當初是為了研制光導纖維連接器和光導開關而進
行的工藝技術開發�，F在已經發展成為微加工制造中的重要加工方法。

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