光學顯微鏡按照照明光源的不同分類有何特點

    幾種類型的顯微技術及其在微電子產品污染檢驗方面的應用。顯
微技術在了解器件結構及污染的內在關系方面己成為一種強有力的檢
驗技術。

    它可以在微米級范圍內觀察器件表面存在的物體。

    各種顯微儀器可歸并為兩類：

    一類是在整個焦平面內同時顯像；另一類則是用被聚焦的點在指
定區域內運動而產生圖像。

    光學顯微鏡和透射式電子顯微鏡都屬于同時顯象一類，

    照明光學
    光學顯微鏡是一種能迅速全面地觀察缺陷和雜質粒子的工具。用
這種顯微鏡觀察雜質粒子，往往直接就識別了，并可找出粒子和缺陷
間的關系及其產生的原因和效應。

    反射式和透射式照明系統在光學顯微鏡中都能使用

    光學顯微鏡具有一連串的透鏡：聚光鏡、物鏡和目鏡。在反射式
照明系統中，物鏡還兼有聚光鏡的作用。不論是反射光，還是透射光
都有幾種照明形式：即亮視場、暗視場、偏振光、相位反差以及干涉
反差等。

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.xjwdx.com)