分析和檢驗儀器-可對觀察數據自動分析的顯微鏡

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  作為微電子技術環境控制的顯微手段，其測試儀器有從較簡單的臺
式顯微鏡到當前使用的精巧而效率很高的各種儀器，而且把放大和微觀
分析都結合在一起了。

    關于分析和檢驗儀器的討論來看，顯微法是觀察人員從各種線索中
得到信息的唯一方法。觀察人員可采用很多方法進行處理以獲得所需信
息；也可從較初的觀察中，看出各種情況和數據的相互關系，

    從而決定采用哪一種有效方法。顯微鏡和其它方法聯合使用，在檢
驗工作中往往是處在第一線的。

    由于引入了自動掃描系統和計算機的數據處理技術，定量顯微分析
近年來日益重要。在測量粒子大小的分布，樣品的其它特性中更是如此。

    上海光學儀器一廠顯微研發分析軟件可的進一步發展促使光學顯微鏡
的數據自動處理，電子束顯微鏡分辨率和分析靈敏度方面得到更大的改進。
在這新的領域中，當前首先要做的工作是將檢驗技術推進到更先進的水平，
使之能對微電子器件中很小的斑點進行觀察，并獲得更高的分析靈敏度。

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