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透射電子顯微鏡的原理和構成及樣品的制備




來源:yiyi
時間:2014-2-16 18:32:29

透射電子顯微鏡的原理和構成及樣品的制備

透射電子顯微鏡利用電子束波長較短且易于用電磁透鏡聚焦
的特點,可大大提高分辨率。但是,電子束不能穿透大塊金屬,
所以透射電鏡必須制成復型或以金屬薄膜作為試樣,
其制樣過程遠較金相試樣復雜。

兩種試樣都可觀察顯微組織,但是,金屬薄膜試樣還可應用
選區電子衍射和衍襯等方法獲得更多的信息,
如晶體取向、晶體缺陷等。

1.透射電鏡的構成
    透射電鏡的成像原理類似于金相顯微鏡,但二者的結構卻
截然不同
透射電鏡主要由下列幾部分構成:電子槍、電磁透鏡(雙聚光鏡、
物鏡、中間鏡、投影鏡)、樣品室、觀察屏(底片盒)。

2.金屬薄膜的制備過程如下:
    (1)機械減薄預先將待檢測的試樣,用機械切成0.5mm左右的
薄片,再在砂紙磨薄至100μm,
    (2)化學減薄可消除機械減薄產生的表面變形層。
(3)電解減薄可獲得表面光潔的合適薄膜。
較后制成直徑為3mm、厚度為100~300nm的金屬薄膜。

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