金屬氧化層顯微的細孔,鍍層顯微結構測量顯微鏡
氧化層的多孔性
氧化層的形成和生長一直是在金屬抽氧化物轉變的情
況下進行的，當電解液和金屬的接觸能夠保持時，
則氧化物的形成才能連續不斷，而且產生的氧化層也不
是完全致密的。較近的研究指出，這種情況的出現，是
由于鍍層上布滿了超顯微的細孔或通道，新形成的氧化
層或氧化層的增長，一直是發生在微孔的根部面晃是在
氧化層的外表面。
假定微孔為圓形截面，則微孔的直徑約為0.1微米
鍍層顯微結構的研究。包括了以下內容：
1）微觀形貌觀察
2）微區化學成分分析
3）微區相組成分析
4）鍍層的晶體結構、擇優取向和界面取向關系
5）鍍層的表面、晶界和相界狀態
6）鍍層的缺陷
7）鍍層的微觀電子結構
在現代物理實驗中，用電子束，離子束和電磁波作用
于物質、分析得到的信號，從而取得關于物質狀態的資
料，這是我們進行薄膜顯微結構研究的主要方法。
由表可以看出，一種方法常�？梢缘玫蕉喾N信息。例如
，用X射線衍射，可以分析鍍層的晶體結構、缺陷、擇優
取向（織構）和內應力。因此，在實驗中要充分結果更
可靠，或者使分析能夠更加全面，
常常將多種方法組合到一臺儀器上，例如，在分析電鏡
上，配備了能譜、能量損失譜和微束衍射裝置。在多功
能表面分析儀上則能使了俄歇能譜、光電子能譜、低能
電子衍射和二次離子質譜。這種多方法的組合運用，使
我們能夠得到單一方法無法取得的效果。
