粗糙度、波紋度、表面加工紋理測量光學顯微鏡
粗糙度：粗糙度是指工件表面由于受刀具作用而顯示出小的凹痕，這些刀具是指車刀、銑刀或磨輪。鑄造工藝或剪切作用亦可產生細小的不規則的表面。粗糙度有時作為主要表面質量特征，而波紋度（在下面討論）則為次要特征。 粗糙度高度：它是以算術平均偏差來計算。單位是微英寸或微米。它是由沿著粗糙的輪廓各點垂直于基準線的距離測得的。
度量為了有效控制在不同情況下的表面質量，涉及表面不規則形狀的高度、寬度及其方向，這些被認為在應用上是很多重要的，該標準并末指明某地具體目的所需要的粗糙度、平滑度�；虿y度，或表面紋理的形式。
表面：物體的表面是由邊界來限定的，這個連邊界把該物體同另一物體、物質或空間分隔。
微英寸：一微英寸是百萬分之一英寸（0.000001英寸）。為了書寫技術條件或有關表面粗糙度的技術要求。微英寸可縮寫成μim. 在國際單位制（SI）中以nm（納米）為單位。
表面特征：是指表面總的情況，其中包括以名義表面為基準的重復偏差或隨機偏差。表面特征包括粗糙度、波紋度、表面加工紋理和裂紋等。
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