光學截面適用于粗糙度Ra值范圍為2-200微米的表面

把表面截面切片用顯微鏡檢查表面的輪廓。
另一種方法是光學截面法，可以產生幾乎同樣的結果，
但容易得多，且是無損檢查的方式。

用很窄的光畫出被測表面的一個截面輪廓，再用放在某一角度上
的顯微鏡觀看。照光角和觀察角都同表面成45°，
這是產生較清楚輪廓的條件.

    光學截面法適用于粗糙度Ra值范圍為2-200微米的表面.
對軟的表面很適用，因為它會被其它儀器的測頭弄得變形，
也適用于測量刻線的深度等，

    有一種測量表面的光學方法是利用光的干涉。當光從兩
個不平行的表面反射時，從表面各方面反射的路線長度不一致，

對觀察者反射時產生一個相位的變化，結果有些光互相
抵消，有的互相千擾，形成暗的和亮的條紋.這些條紋的間
距和形狀依靠表面和反射鏡的規則性而定。紋理的微觀不平
度變換為千涉條紋的高低不平，在規定的觀測條件
下，從條紋的位移可以測較出粗糙度的高度。

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