測量型工具顯微鏡的應用簡介-帶分析軟件
測量表面粗糙度
對于利用散斑技術測量表面粗糙度的問題已經給予極大的關注。正如以
前所指出的，對這個課題的廣泛的參考及綜合性的討論地其他地方也是有
用的，對這幾種方法使用得非常成功，其中包括在像面和衍射場中以散斑
反襯為基礎的方法，以及多色散斑和散斑圖樣相關方法。通常，可測量粗
糙度的程度隨著上述可數的幾種方法而增加：散斑反襯對于拋光較好的表
面（<0.25um)是有用的；而多色散斑法適用于中等程度的表面粗糙度(
0.2-5.0um)；散斑圖樣相關法則包括適用于相當粗糙的表面(1-30um)。
無損檢驗
除了對于上述逐個進行考慮的這些題目以外，已經報道了散斑計量學各
種各校的其它應用，對無損檢驗探傷給予極大的關注。在下面幾段中介紹
幾個實例，以便使這種方法的通用性散發出芳香。
檢測裂縫實際上是使用散斑能夠測量面內位移記錄了一張雙曝光散斑照
片（在兩種不同的負荷下），并且他使用無擴展的激光光束通過對處理過
的照片進行掃描，從南昌觀察所形成的楊氏條紋。在裂縫的地方條紋突然
消失，并且以不同的傾斜角在裂縫的另側重新出現條紋。通過對裂縫其中
一側的兩點的位移進行測量，就有可能計算裂縫的寬度。
