各種金屬磨粒類型分析用圖像光學分析顯微鏡
觸針形狀與針尖半徑：實際情況表明，工件表面粗糙度形成的角
度不小于150 度。因此，觸針針尖的角度一般要求90度或60度。為了
耐磨，觸針一般用金剛石做成。為了能磨尖，故按金剛石晶體形狀作
成90度的棱錐形，但也有作成圓錐形的。針尖半徑的大小將直接影響
儀器的分辨力，從分辨力出發，越尖越好，但無窮小的針尖，既造不
出來，又保持不住，而且太尖了也會劃傷工件。實驗室用高精度儀器
的針尖一般為2um 和1um ；
車間用儀器為5um 和10um左右。針尖是否有崩尖或磨損現象，可
用生物顯微鏡或雙管顯微鏡做初步地檢查，若要仔細地檢查，可采用
掃描電鏡。對于裝在傳感器上的針尖，可用“刀片法”進行檢查。
所謂刀片法，就是把尖刃（刃尖半徑0.2um 左右）刀片夾于塊規
內，讓刀刃露出一些，用儀器對其進行測量，畫出其1000X1000 倍的
放大圖形，然后根據此放大圖形來評定針尖半徑。
各種磨粒類型的判斷，是依靠雙色顯微鏡和掃描電鏡進行，雙色
顯微鏡可以確定磨粒是游離的金屬還是化合物，而偏振光又可以得到
的關各種化合物的晶體結構資料。
掃描電鏡能很好的顯示出磨粒的形狀。通常磨粒尺寸超過20um被
認為是嚴重磨損的大磨粒，接近2um 以下稱為小磨粒，大小磨粒數量
的比例是表明產生嚴重磨損的一個特征。
有色金屬或其它非金屬磨粒的判別，可以采用雙色顯微鏡再配合
某些特殊技術（如譜片加熱法等）加以識別。
