顯微輪廓儀結構特點-檢查光潔度用光學顯微鏡

新改進的干涉輪廓儀有哪些特點

    顯微干涉輪廓儀結構的主要要求，是放被檢零件的工作臺和
干涉頭聯結的剛性要好，必須保證干涉條紋對振動的靈敏度為較
小。在調整結構方面，三個相互垂直方向精密移動被檢表面13和
繞其兩軸轉動，要求有很靈巧的機構設計。另外，為了使兩路相
干光束的光程相等，沿光軸方向精密移動物鏡和棱鏡也值得注意。

    檢查零件內表面光潔度的顯微干涉輪廓儀在顯微干涉輪廓
儀里，狹縫成像在被檢表面上,這就使我們不僅可以檢查有不規
則加工痕跡的表面，而且便于圓柱表面的檢查。實際上如果狹縫
像平行于圓柱母線，則儀器視場中看到直條紋，其寬度是不變
的，與圓柱直徑無關。特別有價值的，是顯微干涉輪廓儀還可以
用來檢查光潔度等級高的內圓柱表面，過去，沒有檢查內回柱表
而光潔度的儀器，只能對主要零件進行抽檢，先要把它切開，然
后在干涉顯微鏡上檢驗

    檢查內表面的顯微干涉輪廓儀,用三物鏡系統(即用于干涉指
示儀中的系統)。這種系統可以采用任意高倍數的顯微物鏡，

此外可避免一支光束倒轉

    顯微干涉輪廓儀的缺點，是視場照度明顯地比干涉顯微
鏡低得多，因為它不能用在兩個方向都擴展的光源，而采用窄的發
光狹縫。除此以外，又因采用兩面鏡，使儀器的制造和調整變得
復雜。因此，顯微干涉輪廓儀不能夠取代干涉顯微鏡，檢查有規
則痕跡的表面，采用干涉顯微鏡還比較合適。