測量顯微鏡觀察微樣本的二維結構-測量顯微鏡

傳統使用感光樹脂之微制造技術皆采用
單光子光致聚合，以層層堆疊的方式，達到制作三維微結構之目的。這個方法系將欲
制作之物件的模型圖樣，切割成許多薄層，每一薄層可視為二維結構，將紫外光聚焦于液態
感光樹脂的較表面一層，并將此光束焦點依照預先規劃之二維圖樣進行掃描，
被光束照射到之液態樹脂，將會產生單光子吸收光致聚合作
用，進而達到固化樹脂之目的。

將樣本微微下降，再依相同方法固化第二層結構，如此持續
的一層層制作，或稱其為層層堆疊，較終可達得三維結構之目的。在此法中，由于每一層的
結構都是使用紫外光聚焦后照射感光樹脂以達固化樹脂之目的，
因此，微結構之橫向分辨率將受限于照射于樹脂上的光點大小，縱向解
析度則與每一薄層的厚度相關。使用層層堆疊的方法制作三維結構是因為紫外光用的感光
樹脂對紫外光具有很強的吸收，只要是被光束照射到的區域都會發生光致聚合作用而形成
固態結構，因此要制作可移動的物件有其先天性的困難，同時此法也限制了物件必須附著于
某一基板上，才能達到層層堆疊

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.xjwdx.com)