制造材料孔隙率測量影像測量儀器-精密測量顯微鏡

孔隙率
孔隙率的量測是利用阿基米得原理來計算，粉末
的大小、外形與燒結溫度、時間，都會對孔隙率造成影響，
孔隙率對于均熱板微結構的重要性很大，孔隙率的越大可以攜帶的工作流體越多，通道也越大，對
于工作液體的回流至蒸發區也會越暢通，
但流道較小，在工作流體回流的毛細力會相對較大，所以孔隙
率對均熱板的影響也相當重要。
滲透率
滲透率實驗根據達西定律（Darcy’s Law），透過
滲透率的量測可以了解到流道是否暢通，滲透率越好
的結構，流道就會越暢通，這對設計均熱板的內部的
微流道有幫助

藉由不同 mesh 數的銅粉搭配，制作均熱板蒸發區與支撐柱的毛細微結構，
針對毛細微結構性質(平均收縮率、孔隙率、滲透率)來進行探討，
進而對均熱板進行熱阻值量測。研究結果中顯示，在毛細
微結構性質部分，325mesh 數的銅粉在平均收縮率有明顯上升的趨勢，孔隙率測試則呈現下降趨勢，
而在滲透率測試中，呈現出隨著 mesh 數的上升，
滲透率有明顯的下降，因此影響了工作流體在均熱板內部的
工作情況，使均熱板內部微結構產生阻礙導致熱阻值提高

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