近場光學顯微鏡在納米測量的應用簡介
近場光學顯微鏡對于現今奈米尺度量測 上有高空間解析的能力,是分析次波長微結構 不可或缺的工具。
因其空間分辨率受限于光纖 探針的尺寸,為近場光學顯微鏡中關鍵部份, 探針自制能力,并且利用自制的探針與外差式近場光學干涉儀結合已具有不錯的成效。
再者,對于近場正交式的架構已有初步的模擬結果。對于輻射狀偏極態入射光在近場光學用探針模擬也觀察到了超小聚焦的現象,有助于提升近場光學顯微鏡之分辨率
(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.xjwdx.com)