顯微硬度計廠商-測量微小區域的硬度測試
維氏硬度機（Vickers Hardness）
維克氏硬度是以微小的菱形鉆石當壓痕器，在待測物上表面壓出壓痕，并以
顯微鏡中的基準線來進行壓痕器所壓出的菱形對角線長度，并利用其長度來計算
受測物之硬度。維克氏硬度試驗機的優點在于其荷重小，因此對較脆性的材料也
可進行測試且其壓痕器也較小，可進行顯微區域的硬度測試
X-光能量散布光譜儀（X-ray Energy Dispersive Spectrometer，EDS）
EDS 是一種廣泛普遍分析材料元素成份的儀器，一般架設于SEM 及TEM
中，配合電子顯微鏡的觀察可以擇區作成份分析。其原理為利用電子束撞擊材料
試樣后損失部分的能量，而將試樣原子中的核電子(1st 個)20擊出，由于核電子被
擊出后原子處于高能量的不穩定狀態，因此其原子較外層核電子(2nd 個)容易降
下到能量較低的電子空位并釋出能量。此能量諾將另一外層電子(3rd 個)擊出，
則此被擊出的電子(3rd 個)稱歐杰電子。因不同元素皆有各種不同能量的軌域，
其各層軌域間的能量差值也有一定，一般稱此特性X-光，為各種不同元素所特有
之特征，故可根據特性X-光的能量來判斷元素種類
