掃描電子顯微鏡觀察的特點-光學儀器廠商

掃描探針顯微術如同在黑暗的房間中用手掌掃過書桌桌面，
雖然看不見桌上的物品擺設還是可以大致知道各物體的相對位置。
同樣地， 使用光學顯微鏡看不到的時候也可以用 “摸”的方式，實際上掃描電子顯微鏡影像是模擬還原出來的

掃描探針顯微術 (scanning probe microscopy,SPMS)

是使用一微探針在樣品表面上移動，在探針移動的過程中會與樣
品的表面會保持一固定距離，掃描的過程中可得到樣品表面各處的高低起伏，因此
掃描探針顯微術除了具有水平方向的解析力外，還有垂直方向的解析能力。掃描探

針顯微術使用的探針非常尖銳，有時尖端上只有一顆原子，所以在掃描樣品表面時
能夠有原子等級的解析能力，常見的掃描探針顯微鏡：如掃描穿隧顯微鏡
(scanning tunneling microscopy,STM) 和原子力顯微鏡(atomic force microscopy,AFM)
都具有原子尺度等級的解析度 (~0.2納米)

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