電子產品元件晶體和導線尺寸檢測顯微鏡

科技上有不少革命性的發展與突破，其中較明顯是科技發展已經邁入納米尺度的領域，
在許多的科技應用中，所有的結構與元件的大小，都是朝向“納米”尺度前進，
也就是朝向“小”來發展。以我們現在所用

的電子產品中元件結構為例，電晶體和導線尺寸都已縮小到0.25 μm(百萬分之一米)
以下，甚至已經到達0.09 μm;在視覺檢測方面，人類的視覺只能觀察到100 μm 大
小，至于肉眼看不到的事物，可以利用一些放大功能的工具如工業放大鏡，立體顯微鏡

其倍率為數倍，乃至二、三十倍，至幾百本 較小極限約可以看到5 至10 μm，如果要進行更細微的觀
察，就要應用專業顯微鏡。依照顯微鏡的成像原理，大至可分為光學顯微鏡及電子顯微鏡，

不過這兩種顯微鏡還是有極限， 光學顯微鏡較小極限可以看到0.2 μm，也就是200 nm，電子顯微鏡較小極限可以看到2 nm

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.xjwdx.com)