多軸長行程微定位工具測量影像測量儀器

主要針對掃描探針顯微鏡之定位系統作整合與研究，以伺服馬達為XYθZ 粗定位平臺，
并選用壓電材料與微結構放大器作為基礎，利用田口方法對XYθZ 細定位平臺做較佳化設計。

藉由系統參數鑒別技術與控制器的設計，
完成具納米級定位精度的多軸長行程微/納米定位平臺的開發與研制， 使掃描探針顯微鏡

能達到更高效率的量測技術。此外，結合虛擬實境及網絡科技，開發出微/納米行
程回饋密閉控制系統供操作者使用，使得回饋裝置不僅操作介面更加簡易、人性
化，并且增加了操作時的安全性及真實性

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