工件更準確的輪廓量測工具顯微鏡廠商

投影彩色光柵量測之光場補償系統，其具有光場補償功能，其可以線段投影法簡單算出待測工件之高度。

影像處理裝置先產生一用以投影且無光柵之影像，將該影像投影出去，

利用攝影裝置擷取該影像，并傳送回影像處理裝置進行影像處理而成一帶有投影資訊之無
光柵的影像，另產生一有彩色光柵之影像，并以創新方法對該影像進行補償。
如此可對無光柵影像或有彩色光柵影像進行光場補償作業，

使彩色光柵影像更為清楚，以對一待測工件進行更準確的三維輪廓量測與重建分析計算。
關鍵詞：線段投影，彩色光柵，三維輪廓量測

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.xjwdx.com)