光學式表面粗糙度測量儀器-精密測量顯微鏡

不同的材料對于光的反應皆有所不同，以物理觀點來看，大致可分為可穿透元件及不可
穿透元件，且描述光的行為主要有反射、透射、散射、吸收。

材料的表面性狀也會對光的行為產生影響，諸如表面粗糙度、光吸收率、次表
面損傷及表面殘留應力等，其中以表面粗糙度對于光的反應能量為較清晰且較普遍可獲得
的。

針對不可穿透之材料表面粗糙度，做光散射的能量分析。

根據能量守恒定律，假設入射光的總能量沒有衰減，則 R+T+S+A=100%，其中R為鏡面
反射光能量、T為穿透光能量、S為散射光能量、A為吸收光能量。實驗試片為不可穿透之金屬元
件，故穿透能量忽略不計，意指入射光能量分散在反射光、散射光及光吸收之中

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