表面粗糙度測量儀器研發，提升表面粗糙度分析與檢測技術能力，
以及相關應用技術之推展。

先進的表面粗糙度分析及量測技術，并確認與推展符合未來市場需求之表面粗糙度標準，

相關應用開發

微、納米表面粗糙度
粗糙度量測設備與方法
表面粗糙度校正與追溯
原子力顯微術、探針掃描式顯微術
磨潤學與磨耗
接觸式或光學式表面粗度量測儀器
半導體線寬與邊緣粗糙度
表面粗糙度之其他應用

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