掃描電子顯微鏡的原理試樣制程簡介

掃描式電子顯微鏡
（ScanningElectronMicroscopy,SEM）

掃描式電子顯微鏡（SEM）

觀察粉末在球磨時間下，其形態與顆粒大小的變化趨勢及觀察熱壓
后塊材的表面型態。

原理為藉由電子束經電壓加速后，經電磁透鏡的電子光學系統使電子束聚集至試片表面
，產生出二次電子等訊號，其訊號由偵測器偵測后，以訊號放大處理傳送至CRT，

試片表面之形貌等就由此同步成像方式呈現；試片的形貌較受到導電影響，若導電
差則需要鍍碳或鍍金

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.xjwdx.com)