影像測量儀工具型顯微鏡-輪廓類精密機械零件尺寸測量
影像測量儀 是利用測頭接觸工件表面,沿X、Y、Z三軸向移動,由直角標系統可以得知測頭中心點之位置,因此可以得知工件的點座若將這此點影像送至數據處理機,由軟體程式的計算,
可以得知工件外型的細部尺寸。以影像測量儀測量工件,使測量檢驗工件進入自動化,節省測量時間,提高測量效率與測量精度。不僅如此影像測量儀扮演著重要的角色,它是精密測量中,較快速與準確的自動化定量具。
結果顯示表面粗糙度越接近鏡面,高斯分布曲線將會越陡峭,表面粗糙度越粗糙時高斯分布將會越平坦,鏡面反射能量隨粗糙度的增加而減少,減少的鏡面反射能量則成為繞射光與散射光源。由此關系進而推斷出表面粗糙度,再以較大灰階法及平均灰階法推斷出在試片表面粗糙度于波長的1/10范圍內粗糙度,并獲得良好的關系性建構之非接觸式表面粗糙度儀,得以評估超精密加工件之表面粗糙度。
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