光柵式測徑儀簡介-顯微物鏡廠家
將平行的的兩點光源干涉后之干涉條紋投射在待測物上并固定條紋寬度,
由條紋寬度以及被待測物遮避之條紋數而可計算出待測物之尺寸,此即光柵式測徑儀。
一般常用來測量物體大小的工具,必須接觸待測物件因而容易在物件間形成磨損,或
是由掃瞄待測物件但因掃瞄馬達本身引入之誤差使得物件精度無法提高,本 文即利用
非接觸,非馬達掃讀的方式來進行測量。
借由兩同調光所產生的直且等間距干涉條紋并投射在待測物上,而在干涉區之上下方
各置一檢測器,二者連線同步并且與干涉條紋平行,一檢測器置于待測物陰影區一置
于亮區,若此兩檢測器同時測到的是亮紋或亮紋,計數器不計數唯獨上側之檢測器接
受到的是亮紋,下側檢測器是暗影時計數器才計數經由此法可將被物體擋住的條紋找
出并由計數器計錄,當條紋的寬度設定時,待測物之尺寸就等于顯示出來之條紋數乘
以干涉條紋的寬度。
實驗的精度取決于條紋的寬度與檢測器之鑒別率為了達到高精密須調整兩光源的
距離使其條紋之寬度在微米之范圍,
同時于檢測器前置一顯微物鏡使條紋寬度放大并適當遮擋使得一次做有一條紋照射至檢測器,
以利于檢測器之檢測并將檢測值送入電腦由電腦完成運算之工作。