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接觸式和非接觸式掃描電子顯微鏡簡介-解析度高低




來源:yiyi
時間:2013-4-27 21:38:06

接觸式和非接觸式掃描電子顯微鏡簡介-解析度高低

原子力顯微鏡的操作模式可分為

1. 接觸式(contact mode)
此模式的探針和樣品的作用力是原子間的排斥力,這是較早被發現出來的,
由于排斥力反應的距離約在數埃(angstrom,Å)之間,且對距離非常敏感,
所以可以得到很高的解析度。不過由于接觸距離極接近于樣品,過大的作用力會損害樣品,由其是軟性材質影響更
大,所以選擇適當的作用力便很重要。

2. 非接觸式(non-contact mode)
為了解決接觸式原子力顯微鏡可能損壞樣品的缺點,便有非接觸式原子力顯微鏡發展出來,
這是利用探針和樣品間長距離的吸引力-凡得瓦力來運作,其反應距離約在數十埃左右。由于探針和樣品沒有
接觸,因此沒有破壞樣品的顧慮。但因凡得瓦爾力對距離的變化非常小,
所以必須使用振動及調變的技術(Vibration and Modulation Techniques)
來改善訊號對雜訊的比例(signal / noise),其解析度并無法像接觸式原子力顯微鏡來得高

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