提高解析度輕敲式掃描電子顯微鏡的原理

輕敲式（tapping mode）

輕敲式原子力顯微鏡是介于接觸式和非接觸式之間的一種模式。相對于非接觸式，
輕敲式則是加大振幅與縮短針尖與樣品之間的距離，使振盪中的懸臂樑更接近樣品，而針尖與樣品之間的距離已縮
小到使得懸臂樑振盪振幅的較低點能夠“輕敲”樣品的表面。此法不
僅可以提高解析度，并減少破壞樣品的機率，所以此模式亦是目前較常使用的方法

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