掃瞄電子顯微鏡材料表面觀察分析技術簡介

掃瞄探針顯微鏡分析技術可說是近幾年來發展極為快速的一項表面分析技術，
除了有操作簡單與維護容易的特點外，較主要的優點

在于能直接且快速地提供關于材料表面特性的資訊，如硬度、平坦
度、電磁場、漏電流、光電性質及壓電特性等高解析度訊號。隨著奈
米科技時代的來臨，許多表面分析需求已進入奈米尺度，掃瞄探針顯
微鏡自然成為奈米科技時代不可或缺的表面分析工具之一，其各項應
用之中，以應用于材料表面形貌觀察及物性量測的原子力顯微鏡較為人所知

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