光學式粗糙度值測量方法的優點有哪些
以光學為基礎之非接觸式量測技術,除了具有非接觸的量測機制,可避免與表面精度需求極高之待測物直接碰撞,更重要是光學檢測系統具備高度的量測精度,同時也具備優良的穩定性與可靠度。表面粗糙度在不同場合有不一樣的需求,對于光學元件來說,表面平整度要求甚高,因此若運用一般機械接觸式的量測方法,
例如:比較量測法、探針式量測儀、電容測定法以及放射性同位素量測法,不但不能達到量測標準,也會對待測物表面或輪廓產生破壞。所以,運用非接觸式量測技術,乃是較佳的選擇,目前常運用于光學量測之方法有光線切斷法、光線反射法、光波干涉法、電荷耦合器取樣法以及光散射方法
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