光學精微模具的制造過程檢測光學測量顯微鏡
從“制造技術”觀點看,不同的光學模具,有不同的制造技術,故若能將不同的制造技術整合于同一部工具
機系統上,則可省時、省工及省成本。
所以開發“高剛性”、“微型化”與“多功化”的高精度工具機有其必要,以達到多樣化光學精微模具制造之目的。
適用于光學精微模具開發的高剛性精微工具機之設計,
第一階段為工具機建構與驗證,第二階段對非球面陣列透鏡模仁與光柵繞射元件進行加工測試,
期以低成本方式,開發一部適用于光學精微模具制造的高剛性微型工具機,
并建構光學精微模具之精微制造技術于此工具機系統上,包括高精密車削、高精密銑削與高精密飛刀切削
等技術,探求其可行性。為獲致高穩定加工目的,在開發的工具機系統上,透由工具機系統內部,
擷取各軸動態訊號,以便獲得工具機之動態振動資料,并于加工期間調整主軸轉速、工件進給速率與進深等參數,以便抑制加工時之振動發生,提高光學模具精度。
在“光學模具材料”方面,本研究亦利用無電鍍(chemical plating)沉積技術,
制作鎳磷合金(Nickel-phosphorus alloy),以獲致高硬度、高抗腐蝕性與高光澤度的光學模具