使用顯微鏡自動快速量測工件的輪廓
回顧
目前共焦量測系統均利用垂直單點掃描的方式來獲得三維輪廓資料，
在量測上將造成量測效率不彰以及易受到線上量測環境振動問題之干擾，
雖然也有利用一些特殊方式以達到線掃描效果(使用音叉震動改變鏡組位置，以快速掃瞄不同點，
但掃描一整個平面速度仍顯不足，為避免掃描所花費之時間，
發展非掃描式多光束高速量測共焦顯微鏡，利用微透鏡陣列元件將單一光源分成多光源來進行快速全域式量測，
并將平行玻璃板放置在光路中，使得聚焦平面產生位移之效果，達成快速深度掃描。
彩色共焦快速形貌量測技術，利用軸向色散的原理使不同波長之光源會聚焦在不同深度聚焦平面上，
可用單張影像重建出三維輪廓。Seng提出混合式共焦顯微鏡，此量測系統利用多影像路徑之架構
，使不同CCD對應待測物不同之聚焦位置，達成同步擷取不同深度資訊并快速重建出三維輪廓。
Bitte等人以數位微型反射鏡裝置(DMD)產生各種不同的結構光圖案，作為主動光源投射，
當DMD所代表之像素對應到物體聚焦面時，可以獲得較大影像強度，配合聚焦形貌法與聚焦函數，以重建物體三維輪廓。
而為了有效降低設備成本，勢必以較精簡的架構來達到量測的目的，
由不同聚焦程度之影像，搭配聚焦函數計算，
以判斷影像之聚焦程度來決定三維資訊，避免使用針孔對準的不方便性。
而Noguchi 等人提出以投射主動光源來改善聚焦形貌量測法，其主要是針對表面光滑之物體，
進行量測時對表面投射結構光圖形之光源，增加表面之高頻資訊，配合聚焦形貌量測法之原理與聚焦函數，
以重建物體三維輪廓。
架設一組光學架構，利用創新的清晰度演算法，達成快速取得不同深度之影像，進行全域式之高度量測
