金相光學顯微鏡原理-分析材料的表面結構
顯微鏡的分析原理,以較簡單的金相光學顯微鏡為例,一可見光源經過多種的光學透鏡折射聚焦與試片作用,反射可見光回來,藉由接收的可見光強度產生明顯的顏色與明暗對比來觀察分析材料的表面結構。
其它顯微鏡大多也是建構在相同的原理上,通常是藉由入射一具有能量的粒子束,利用不同透鏡聚散或偏折粒子束,使粒子束撞擊試片,產生各種不同形式的二次粒子,較后利用各儀器不同的偵測器接收所對應的二次粒子訊號,形成各式的影像或能譜來分析材料的結構形貌與成分分佈。常見的粒子束,通常可分為電子束、離子束以及X光束三類。
而各儀器的分析特色,則主要決定于兩方面,一為入射粒子束和試片的作用,入射時的角度與入射粒子束的強度,影響了試片作用的深度。另一方面則為二次粒子產生的速度以及偵測器的靈敏度,對于所接收到訊號強度有極大的影響,各種材料分析技術特性。
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