晶圓框架框架外觀尺寸量測金相顯微鏡

開發一套晶圓框架框架外觀尺寸量測系統。

針對此大尺寸工件量測，采視覺動態取像裝置，透過旋轉平臺旋轉360°，
完成2D 平面掃描尺寸，較后透過影像處理幾何運算，量測需要之尺寸項目。

本檢測系統之優點在于晶圓框架每次放置于旋轉平臺上，不需固定放置角度與位置，只需定心至一容許范圍內，
依然可以量測尺寸。此晶圓框架 外觀尺寸檢測系統，評估系統的量測速度能力，每小時可檢測150片，
可以達到業界所要求，增進量測時的準確性及縮短量測時間與減少人力資源 。
關鍵字：晶圓框架、自動化光學檢測技術、視覺尺寸量測

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