自動輪廓量測之垂直解析度可達0.1微米-光學儀器

三維量測系統及微小探頭之光機設計，及實驗雛型系統之制作及測試。

三維輪廓量測之垂直解析度可達 0.1 微米，高度掃描范圍可達 5 mm，水平量測
范圍由數十微米至數個 mm，水平量測解析度可達 0.8 微米，

自動光學三維顯微檢測技術。同時，微型數碼疊紋掃描探頭之設計為國內外首創之新穎方式，
將為國內極具潛力與競爭力之研發項目。

可攜式三維量測系統及微探頭之研發，期能達到下列幾項目：
◆ 探頭為可攜式適用于現場精密元件之三維輪廓量測。

◆ 探頭微小化，可用在狹窄空間上之檢測及人體口耳鼻內視鏡。

◆ 二維彩色影像的擷取。
◆ 發展國內自有技術與設備，改善以往新科技工業之設備皆整套外購之缺點

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