搭配電子顯微鏡可對材料量測其機械性質

材料可靠度的角度來看，機械性質扮演一個重要且根本的角色，任何材料在實際應用之前，均須先經機械性質驗證，
就連先進半導體制程模組之開發以及生物工程科技之推展，也都必須審視其重要性。尤其當材料結構趨近納米尺度時，
機械性質將可能發生很大之改變，影響材料可靠度甚巨；

因此，材料于納米尺度下之機械性質分析與變形行為觀察，由于材料結構納米化，傳統工具已無法有效量測其機械性質，

而必須仰賴納米機械測試技術加以分析。近年來，納米壓痕測試廣泛應用于薄膜材料、納米材料、
生物組織等納米結構之機械性質量測，

甚至可搭配電子顯微鏡進行納米尺度變形機制之同步臨場分析，

對于材料之開發研究與可靠度評估具有相當實際之助益。

電子顯微鏡實驗，在做有關電子顯微鏡時，要拍很高倍率照片的時候，即使是開門、
走路甚至是冷氣出風口的風流動都會影響實驗。

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.xjwdx.com)