精密光學機械-在顯微鏡下的微移高精度測量零件

2.5軸顯微操縱系統的設計與制作系統

具有顯微操縱系統基本功能，能設定存在顯微鏡下的微動畫線結構。劃線精度在0.1mm以下，做

可以做實驗平臺。

(1)  設備實驗設備的架構
(2)  顯微鏡的操作及校驗
(3)  X-Y微步進平臺的架構

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