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 掃描式電子顯微鏡（SEM ）

掃描式電子顯微鏡為破壞性的量測，其必須由電子在待測元件

上流動，因為我們的基板材料是 PC 聚碳酸酯（Polycarbonate）為

絕緣體，所以必須在待測元件表面先行蒸鍍上金屬膜才能導電，而

我們的微光學元件均蒸鍍上一層金。功能與光學顯微鏡相類似，放

大倍率可達數萬倍，適合做細微的觀察，由于它具有傾斜角度照攝

的功能，因此可以觀察 3-D 立體結構。

為微直角

錐陣列電顯圖，其放大倍率為 150 倍，由圖大約可看出加工后之表

面狀況，而圖（4-21）為圓弧形光罩所加工之微透鏡陣列電顯圖，

其放大倍率為 80 倍，（4-22）為半圓形光罩所加工之微透鏡陣

列電顯圖，其放大倍率也為 80 倍。