每一點待測曲線與基準中心線之誤差值
待測曲線之總長度
此計算我們是使用電腦軟體（Matlab）來加以分析，首先以薄
膜測厚儀量測到的曲線數據，利用離散小波函數（Wavelet）轉換，
此方法可以將我們量測到數據作小波函數轉
換，將其濾波成高、低頻兩部分作分析，并且可以再將其低頻的部
分作第二階的小波函數轉換，也可在作第三階、第四階 …的轉換，
較多可至第八階的轉換，如此可以用不同的階數轉換，來作個別所
需要的分析，以誤差值較小的為其所需之分析階數，如同量測海岸
線之原理一樣，量測范圍以適當的海岸地形為主，忽略因海岸邊石
頭的誤差，以適當之范圍作分析。而使用小波函數轉換的計算也如
同量測海岸線一樣，可以選擇一個適當的階數做轉換，經過我們以
各階的分析后，
發現我們量測到的各各微光學元件數據，
經過一次的小波函數轉換值和實際理論數據誤差值為
較小，因為以小波函數轉換在對其第一次轉換后的數據，所以我們
以小波函數轉換作一次的分析。而經過一次小波函數轉換其低頻的
部分作為我們量測數據的基準中心線，其高頻的部分也就等于我們
的粗糙度值，所以以小波函數轉換作分析，其有比較快的運算速度
及其準確性。
