反射鏡的反射光會從入射光光路反射-光學原理

光柵繞射元件

我們設計的光柵是反射式光柵，間隔寬度為 2、2.5、3、3.5um，
在顯影的過程當中都會造成脫落。因此較后我們分
別以 2、2.5、3、3.5 微米設計才成功的做出光柵的光罩。

直角錐狀反射鏡

一組包括 2500 微米寬 1250 微米高的等腰直角三角形至 20 微米寬 10 微米高一系列的等
腰直角三角形,還有三角反射鏡兩股長分別為 325 微
米與 10 微米的特殊三角反射鏡

當光入射至我們的微直角錐反射鏡，經過我
們的特殊設計之角度關系，其反射光會原來的入射光光路反射回去，
以達到我們所需求之反射鏡。

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