精密零件測量顯微鏡-量測的較小特征寬度是3.7 μm

掃瞄軌跡角度γ 即是微特征的斜面角度β。否則所掃瞄出的軌跡角度將會是探針角錐斜面角度
特征寬度必須大于探針圓球橫截面寬時，即特征寬度W，探針半徑R與頂角θ需滿足(2)，
才可量測特征寬度，其辨識誤差將受探針半徑影響。受限于探針頂部半徑R與特征寬度W，此
時所能掃瞄的較大特征深度如，因此量測V溝時，探針將無法下降至V溝尖端。本研究所
使用的為半徑2 μm頂角45°的探針，

依符合推測可量測的較小特征寬度是3.7 μm，而所能量測的較大特征角度是67.5°�？�量塑膠成形限制，
一般V溝寬度都會大于10 μm 但在量測導光
板V溝時，除非在V溝底部采用截頂的設計，且深度小于式的值，否則仍無法正確量出成形轉寫高度

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